招标文件的审查通常由以下单位负责：
建设行政主管部门
对于依法必须进行施工招标的项目，招标人需要在招标文件发出的同时，将招标文件报工程所在地的县级以上地方人民政府建设行政主管部门备案。建设行政主管部门负责审查招标文件的合法性，包括运作程序、时间规定、报价方法、评标办法和合同主要条款等，并确保招标文件用语明确、无歧义。
招标机构或招标代理机构
招标人或代理机构通常负责编制招标文件，并根据《招标投标法》及其实施条例进行审批。他们还需要对资格预审申请人或投标人的经营资格、专业资质、财务状况、技术能力、管理能力、业绩、信誉等方面进行评估审查，以判定其是否具有参与项目投标和履行合同的资格及能力。
评审专家组
对于机电产品国际招标项目，招标机构需要将招标文件送评审专家组审核，并通过招标网报送相应的主管部门备案。主管部门在收到备案资料后，会进行形式审查，并在必要时与招标机构协调。
采购人或采购代理机构
在公开招标和邀请招标中，资格审查是确保投标人具备参与项目所需的基本条件和资质的重要步骤。根据《政府采购货物和服务招标投标管理办法》的规定，货物和服务招标项目评标前的资格审查应由采购人或采购代理机构负责完成，且不得委托其他人代替完成。
建议
明确审查责任：招标人应明确招标文件的审查责任主体，确保审查过程合法、合规。
专业审查：对于涉及专业知识和技能的审查，建议委托专业机构或专家进行，以确保审查结果的准确性和公正性。
及时备案：招标人应在招标文件发出后及时备案，以便建设行政主管部门进行及时审查和监督。
通过以上步骤和措施，可以有效保障招标文件的合法性和质量，确保招标过程的公正、透明和高效。